イオンブレード搭載バータイプイオナイザー( Ion/D-TN シリーズ)ではお客様の要望に応えるために様々な技術が取り込まれています。
1) 多様な大きさの液晶、有機EL基板搬送ラインに対応するためにスケーラブルな構造
2) 近接・無風でも全面にわたってイオンを均一に発生するION BLADEを採用
3) メインテナンスレスでも長期間に渡ってイオンバランスを±30Vで維持する制御技術
4) 工場の集中管理システムに連動した豊富な異常検知と通信機能
1) スケーラブルな構造
Ion/D-TNシリーズは300mmの電極ユニットを単数・複数台連結することにより除電有効幅が300mmから3000mmまでフレキシブルに構成することができます。300mmの電極ユニットにはマイコンによるイオンバランス制御、異常検知回路や通信機能が組み込まれており、それぞれのユニットが独立して動作するシステムとなっています。そのため、単一電極ユニット(300mm)の時も10台連結(3000mm)の時も同じ安定した除電性能を発揮することができます。
2) イオンバランスの変動が少ないイオンブレード
放電針タイプの静電気除去機器は、針の先端に電界が集中し、「点」からイオンを生成・放出するのに対し、平面形状のION BLADEは素子全面から「面」状にイオンを生成・放出します。イオン発生ポイントを高密度に有することから、高濃度のイオンを素子全面にわたって効率よく、均一に発生させることができます。
3) メインテナンスレスでイオンバランス±30Vを維持
イオンブレードは稼働時間とともに劣化していくためイオンバランスがシフトしていきます。
通常は定期的にイオンバランスを測定して再調整しなければなりませんが、メインテナンスレスを達成するために自動調整機能を取り込みました。
図3は長期にわたって稼働したときのイオンバランスの変化です。自動調整をしない場合に比べてイオンバランスが安定していることが分かります。
4) 工場の中央管理システムに連動
電極ユニットはそれぞれ独立していますが、それらを制御ユニットが管理しています。
制御ユニットには外部システムとの通信機能を備えているため各電極ユニットで異常を検知した場合、その情報を外部システムに通知することができます。
また外部システムからIon/D-TNの起動/停止を制御できるため大規模工場において効率的な運用が可能です。
弊社で展開中の「ION BLADE F2 Series」ではIon D-TNシリーズで新たに開発した技術を取り入れています。